欧州の研究プロジェクト「IMPROVE（インプルーブ）」が成功裏に終了、地域の半導体業界の競争力向上を実現

ノイビーベルク（ドイツ）

このたび、欧州のパートナー35団体による研究プロジェクト「IMPROVE（インブルーブ）」が、グローバル市場における欧州の半導体業界の競争力向上に成功したことをお知らせいたします。こ のプロジェクトは、2009年、独インフィニオン テクノロジーズによる技術的なプロジェクト マネジメントのもと、欧州の著名な半導体企業各社が結集したものです。プロジェクトが目指したのは、欧 州での半導体の製造体制の効率化と、コストの削減、処理時間の短縮を同時に実現する新たな手法の発見です。プロジェクトは独連邦教育研究省（BMBF）の資金拠出によって行われ、ソフトウェア企業、欧 州に生産拠点を有する半導体企業のほか、オーストリア、フランス、ドイツ、アイルランド、イタリア、ポルトガルの研究機関および学術機関が技術パートナーとして参加しました。「IMPROVE」とは、「 施設の生産性とファブの性能の向上に向けた、製造科学ソリューションの実装（＝Implementing Manufacturing science solutions to increase equipment productivity and fab performance）」の意です。

「IMPROVE」による研究の成果：生産期間の短縮による、歩留まりの向上
「IMPROVE」のプロジェクト パートナーは、研究活動を通じ、チップ生産時の不良品数を12%減少させることに成功しました。併せて、複 雑なチップでは現在約12～16週間を要している半導体製品の生産期間の短縮にも成功しました。近い将来、半導体製品の生産期間を最大3%削減できる見込みです。「IMPROVE」のパートナーは、上 記の成果を達成するにあたり、全く新しい高度な分析手法とソフトウェア ツールを開発し、革新的なデータ評価技術も使用しました。プロセスの変動に対するコントロール能力を高めるため、研究パートナーは、生 産ライン全体に着目しました。そこでの大きな課題は、新たな手法とソフトウェア コンポーネントを半導体メーカーの既存の生産情報 制御システムに試験的に導入し、その研究成果を検証する作業でした。

現在、複雑なチップを製造するには、平均550の個別の工程が必要です。典型的な生産過程では、50～100個のウェハが使われ、各 メーカーの多岐に亘る製品を生産プロセスのためにツールをリセットさせる必要があります。そのため、生産ラインとその状況の正確なモニタリング、またメンテナンスの予測は、競 争力の維持に欠かせない重要な要素となります。「IMPROVE」は、この分野でも時間の短縮に重要な貢献を果たしています。

インフィニオンのクリスティーナ デ ルカ（Dr. Cristina De Luca）（「IMPROVE」プロジェクト責任者）は、次のように述べています。｢チップの機能性の拡大とともに、プ ロセス工程の増加や生産期間の長期化によって生産手法が複雑化していたため、『IMPROVE』の研究プロジェクトは、急を要するものでした。半導体業界と学術界による共同研究作業、工場 プロセス制御、お よびセンサ ソフトウェアの開発などによる最新の技術的手法により、半導体の生産は大きく前進しました｣

現時点で、「IMPROVE」はすでに高い評価を得ています。同研究プロジェクトは、「Industrial Technologies 2012」賞（ http://industrialtechnologies2012.eu）の最終選考のトップ10に入るという栄誉に輝いています。選考理由の1つとして、新 たな製品と手法の開発により、欧州の競争力を高めるという目標が、経済的に貢献したことが挙げられます。

「IMPROVE」研究プロジェクト
「IMPROVE」プロジェクトの予算総額は約3,770万ユーロで、このうち半分が、産業界と研究関連のパートナーによって拠出されました。残りの半分は、「SP4 Nanoelectronics for Energy & Environment」プログラムの一環として、欧州連合のENIAC共同事業により、そ して参加各国による国家的な資金拠出によって行われました。BMBFは、「Information and Communications Technology 2020」プログラムの下、3 30万ユーロの拠出という形でプロジェクトを支援しています。インフィニオンは、2011年11月までの期間、ドイツのプロジェクト パートナーの調整役を担当しました。その後は、フラウンホーファーIISB（ 集積システム・デバイス技術研究所）がこれを引き継ぎました。

「IMPROVE」とその研究に関する詳細な情報は、下記URLをご参照ください。
www.eniac-improve.eu

 インフィニオン テクノロジーズ（Infineon Technologies AG）は、ドイツのノイビーベルクに本社を置き、 エネルギー効率、 モビリティ、 セキュリティという現代社会が抱える3つの大きな課題に対応する半導体およびシステムソリューションを提供しています。 2011会計年度（9月決算）の売上高は40億ユーロ、従業員は世界全体で約2万6,000人です。インフィニオンは、ドイツではフランクフルト株式市場(ticker symbol: IFX)、米 国では店頭取引市場のOTCQX(ticker symbol; IFNNY)に株式上場しています。

インフィニオンについての情報は次のURLをご参照ください。
本社サイト： http://www.infineon.com
日本法人サイト： http://www.infineon.com/jp