インフィニオンとクラリアントが157nm露光技術用フォトレジストを共同開発

2003/06/10 | マーケットニュース

独インフィニオンテクノロジーズは、クラリアント社の電子材料部門であるAZエレクトロニック・マテリアルズ(米国ニュージャージー州サマービル)と、波 長157nmの露光技術のためのフォトレジストを共同開発する提携契約を結んだと発表しました。量産工程適用に向けて、この技術の品質認定を加速するのが狙いです。こ のプロジェクトで開発されるフォトレジスト材料により、インフィニオンは、構造幅55nmのDRAM半導体チップ量産工程に適用される157nm露光技術の品質認定を行うことが可能となります。

未来世代チップに必要な技術や材料をとりまとめたITRS(国際半導体技術ロードマップ)では、構造幅55nmのDRAM量産が2007年に開始されると予想しています。こ の構造幅を達成するための主流の候補技術の一つが157nmリソグラフィ技術です。この技術では、真空紫外線波長157nmで発光するフッ素レーザが用いられます。

フォトレジスト開発を加速するため、両社は化学分野の研究開発能力を結集するとともに、ドレスデン(ドイツ)にあるインフィニオンの最先端リソグラフィ装置を利用します。インフィニオンは、1 57nmパイロット生産に適用可能な最も早期の露光ツールの一つを手に入れることになります。インフィニオンのヴィルヘルム・バインフォグル(メモリ製品最高技術責任者)は、「 そうしたツールへのアクセスを早期に確保することが、材料やプロセスの開発を加速するうえで不可欠です」と、語りました。

クラリアントのラルフ・ダンメル(193nmおよび157nm製品の技術ディレクタ)は、「この開発プロジェクトによってもたらされる研究開発能力と先進プロセス装置により、私 達は55nmノードのタイムリーな導入に向けての157nmフォトレジスト実用化に貢献できると確信します」と、述べました。

フォトレジストは、ICの各層に微細パターンを形成するために用いられる感光材料です。リソグラフィ技術は、ここ数十年、急速な進歩を遂げています。現時点では、光 波長193nmのリソグラフィが量産適用段階に入っています。インフィニオンはすでに、構造幅130nmを下回るパターンの形成に193nm波長を導入しています。1 57nm波長は実用可能な最後の光波長になると予測されています。構造幅をさらに微細化するには、非光学式の「次世代リソグラフィ」の手法が必要になるとされています。157nm技術は、1 93nmと次世代リソグラフィの間のギャップを埋めるものです。

クラリアント社 AZエレクトロニック・マテリアルズ事業部門について
クラリアント社のAZエレクトロニック・マテリアルズ事業部門は、半導体、録音ヘッド、フラットパネルディスプレイなどの市場へ向けた電子材料の世界的な先導企業です。同社は、フォトレジスト、反 射防止膜、現像液、半導体製造用各種化学薬品、強誘電材料、ポリイミドなどの幅広い製品群により、総合カスタマーソリューションを提供しています。
クラリアント社は、ファインケミカルおよびスペシャリティケミカルの国際的な先導企業です。従業員数は約29,000名、売上高は約100億スイスフランにのぼります。スイスのムッテンツ( バーゼル近郊)に本拠を構え、5大陸に100社を越えるグループ企業が活動しています。テキスタイル・レザー・ペーパー化学品、顔料・添加剤、マスターバッチ、機能化学品、ライフサイエンス・電 子材料の5つの事業部の製品とサービスは、革新的なスペシャリティケミカルを基盤としています。クラリアント社の革新製品は、顧客企業の製造・加工過程で重要な役割を担い、また最終商品の価値を高めています。ク ラリアントとAZ エレクトロニック・マテリアルズについては、次のURLをご参照ください。
http://www.clariant.com
http://www.azresist.com 

インフィニオンについて

インフィニオンテクノロジーズ(Infineon Technologies AG)は、ドイツのミュンヘンに本社を置き、自 動車および産業分野や有線通信市場のアプリケーションへ向けた半導体およびシステムソリューション、セキュア・モバイル・ソリューション、メモリ製品などを供給しています。米国ではカリフォルニア州サンノゼ、ア ジア太平洋地域ではシンガポール、そして日本では東京を拠点として活動しています。2003会計年度(9月決算)の売上高は61億5,000万ユーロ、2003年9月末の従業員数は約32,300名でした。イ ンフィニオンは、フランクフルトとニューヨークの証券取引所に株式上場されています。

Information Number

INFCPR200306.087